半導體制造環節核心設備之一的光刻機跑出只大牛股，張江高科周五收盤實現8天5板，8月25日迄今股價累計最大漲幅達86.33%，藍英裝備9.6-9.13期間6個交易日收獲3個20cm漲停，廣信材料9.5-9.11期間5個交易日獲3個20cm漲停。中信證券研報指出，據中國日報報道，荷蘭發放光刻機年內發運許可，ASML將能夠在2023年底前繼續向中國出口其NXT：2000i和更先進的DUV光刻設備，看好半導體設備增量空間。
其中，16個交易日股價累計暴漲近九成的張江高科，公司投資的上海微電子旗下已有多個系列光刻機產品。據財聯社電報解讀欄目此前聯合星礦數據不完全梳理，上海電氣、東方明珠、金力泰、海立股份、茂萊光學、炬光科技、富創精密、美埃科技和蘇大維格等A股上市公司均為上海微電子相關標的，具體情況如下：
據中信證券研報梳理，在半導體設備各細分領域，清洗設備國內廠商包括盛美上海、北方華創、至純科技和芯源微；CMP設備國內廠商有華海清科、中電科45所；薄膜沉積設備國內廠商有北方華創、拓荊科技；刻蝕設備國內廠商有中微公司、北方華創和屹唐半導體等；涂膠顯影設備國內廠商有芯源微；離子注入設備的國內廠商有萬業企業、中科信；光刻設備的國內廠商有上海微電子等；過程量檢測設備的國內廠商有精測電子等。
浙商證券程兵等研報指出，從全球半導體設備競爭格局來看，半導體產線中最具價值量環節（光刻機、刻蝕機、薄膜沉積）的三大海外龍頭分別是：阿斯麥、拉姆研究、應用材料，形成了穩態競爭格局。因此，程兵認為假以時日，海外發展規律也會在大陸半導體設備市場復刻，對應國內三大領域設備龍頭分別是：上海微電子、中微公司、北方華創。
如上圖所示，刻蝕機（20%）的價值量僅次于光刻機（30%），中微公司為刻蝕設備本土替代領軍者，華鑫證券毛正等9月14日研報指出，中微公司上半年實現營收25.27億元，同比增長28.13%。分產品來看，公司刻蝕設備在國內外的市占率不斷提高，實現收入17.22億元，同比增長約32.53%；MOCVD設備在藍綠光LED生產線上繼續保持絕對領先的地位，實現收入2.99億元，同比增長約24.11%。
毛正指出，中微公司針對28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開發的可調節電極間距的CCP刻蝕機PrimoSD-RIE已經進入客戶驗證階段；超高深寬比刻蝕機已經在客戶端驗證出具有刻蝕≥60:1深寬比結構的能力；ICP刻蝕設備在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蝕工藝上得到成功驗證，在全面滿足55nm、40nm和28nm邏輯芯片制造中ICP刻蝕工藝要求的基礎上，拓展了在先進邏輯、先進DRAM、更多層的3DNAND存儲芯片和特色器件等芯片制造中的應用范圍。此外，公司積極布局用于功率器件應用的第三代半導體設備市場，用于氮化鎵功率器件生產的MOCVD設備PrismoPD5®目前已交付國內外領先客戶進行生產驗證，并且正在開發下一代用于氮化鎵功率器件制造的新型MOCVD設備。
浙商證券邱世梁等9月6日發布的研報指出，北方華創是中國半導體設備平臺化龍頭，集成電路覆蓋刻蝕、沉積、清洗、熱處理、外延設備等。其中，ICP刻蝕設備國內領先，新品深硅刻蝕設備實現批量出貨，12寸CCP晶邊刻蝕機進入多家生產線驗證；薄膜沉積設備突破PVD、CVD、ALD等沉積工藝，銅互聯、鋁、鎢、硬掩模等二十余款沉積設備成為國內主流芯片廠的優選機臺。
此外，海通國際周揚等9月1日研報指出，北方華創上半年新簽訂單飽滿，同比增長超30%，且以半導體訂單為主。同時，海外龍頭ASML/AMAT/TEL等均表示中國客戶需求強勁，且訂單具有持續性。
據星礦數據統計2023年上半年國內半導體設備廠商中標數量，共有252臺半導體設備中標，其中檢測設備111臺、薄膜沉積設備39臺、刻蝕設備20臺。從A股上市公司來看，精測電子、北方華創、華虹公司、正帆科技、張江高科、拓荊科技和中微公司的具體中標情況見下圖：
其中，精測電子是國內半導體檢測設備領域領軍企業之一，東方證券蒯劍等9月5日研報指出，精測電子在膜厚、OCD、電子束等多款設備領域在國內已建立領先優勢，已覆蓋2Xnm及以上制程，同時已獲得多家客戶批量訂單，截至1季報披露公司半導體領域在手訂單8.91億元，截至中報披露公司半導體領域在手訂單已達13.65億元，呈現快速增長趨勢。在技術難度更高的明場光學缺陷檢測設備領域，公司已完成首臺套交付，同時已取得更先進制程訂單，卡位優勢明顯，未來有望持續放量。
華虹公司作為A股年內最大IPO，8月7日首發上市。華金證券李蕙7月19日研報指出，華虹公司是中國大陸特色工藝晶圓代工龍頭，產能規模居中國大陸第二；作為半導體核心生產環節晶圓代工的大陸主要供應商之一，公司有望較好地受益于我國半導體國產化進程。公司實控人為上海市國資委，獲大基金持股13.67%，成立以來公司深耕特色工藝晶圓代工；立足于55nm及以上成熟制程，公司目前已形成了包括嵌入式/獨立式非易失性存儲器、功率器件、模擬與電源管理、邏輯與射頻等多個特色工藝技術平臺，是中國大陸最大的特色工藝晶圓代工企業。
正帆科技為國內較早開展為泛半導體行業客戶提供超高純工藝介質供應系統的專業供應商。天風證券潘暕等8月25日研報指出，正帆科技在泛半導體、光纖通信、醫藥制造等領域積累了強大的客戶資源，包括中芯國際、長江存儲、京東方、三安光電、亨通光電、恒瑞醫藥、 SK 海力士、德州儀器等國內外優質客戶。訂單方面，22年度鴻舸半導體獲得了國內頭部工藝設備商的廣泛認證，新簽訂單迅速放量，2023年上半年實現凈利潤4791.93萬元。鴻舸半導體填補GAS BOX的國產化空白，為工藝設備上游的零部件國產化做出了重要貢獻。
東吳證券周爾雙等8月29日研報指出，拓荊科技作為薄膜沉積設備國產領軍者，不斷擴大PECVD通用介質薄膜材料工藝和先進介質薄膜材料工藝的應用覆蓋面，持續獲取批量訂單和批量驗收，繼續保持競爭優勢，具備持續擴張的潛力；ALD方面，PE-ALD設備PF-300TAstra獲得原有客戶和新客戶訂單，NF-300HAstra實現首臺產業化應用；Thermal-ALD出貨至不同客戶端進行產業化驗證，驗證進展順利。更多股票資訊，關注財經365！